擴(kuò)散硅壓力變送器SH2188

擴(kuò)散硅壓力傳感器工作原理

擴(kuò)散硅壓力傳感器的壓力直接作用于傳感器的膜片上（不銹鋼或陶瓷），使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發(fā)生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這一壓力的測量。

擴(kuò)散硅壓力傳感器的特點(diǎn)

1、適合制作小量程的傳感器

硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應(yīng)在零點(diǎn)附近的低量程段無死區(qū)，制作壓力傳感器的量程可小到幾個Kpa。

2、輸出靈敏度高

硅應(yīng)變電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變計高50～100倍，故相應(yīng)的傳感器的靈敏度就很高，一般量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求，使用比較方便。

3、精度高

由于傳感器的感受、轉(zhuǎn)換和檢測三部分由同一個元件實(shí)現(xiàn)，沒有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，重復(fù)性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大，變形很小，保證了良好的線性。

4、由于工作單性形變低至微應(yīng)變數(shù)量級，彈性芯片大位移在亞微米數(shù)量級，因而無磨損，無疲勞，無老化，壽命長達(dá)1×103壓力循環(huán)，性能，可靠性高。

5、由于硅的優(yōu)良化學(xué)防腐性能，即使是非隔離型的擴(kuò)散硅壓力傳感器，也有相當(dāng)程度的適應(yīng)各種介質(zhì)的能力。

6、由于芯片采用集成工藝，又無傳動部件，因此體積小，重量輕。

擴(kuò)散硅壓力變送器SH2188

擴(kuò)散硅壓力傳感器的性能參數(shù)

測量介質(zhì)：與316L不銹鋼兼容的各種、氣體或蒸汽

量程范圍：-100 kPa～0～2kPa…60MPa

壓力：表壓、絕壓、密封壓

恒壓供電：推薦10VDC，大15VDC

恒流供電：推薦1.5mA，大4mA

橋路電阻：4000Ω(典型值)

綜合精度：0.1%FS，0.3%FS，0.5%FS可選

溫度漂移：0.02%FS/℃

時間漂移：≤0.2%FS/年

補(bǔ)償溫度：0～80℃

介質(zhì)溫度：-40～125℃

溫度：-40～85℃。